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油擴散泵的清洗和換油的步驟

發(fā)布時間:2016年02月23日 09:43   閱讀:9369   返回   來源:澤德
  如果擴散泵太臟或者油變質(zhì),都將延長達到正常工作真空度的時間,極限真空度也會惡化。這時必須清洗和換油,其步驟大致如下:
  (1)拆下擴散泵,取出噴咀系統(tǒng),盡可能將它拆成單個零件。
  (2)倒出被氧化或劣化了的油(呈褐色)。
  (3)用石油醚或四氯化碳清洗噴咀系統(tǒng)各零件及擴散泵內(nèi)壁。若油垢清洗不下來可用金屬擦膏,仔細(xì)擦凈(注意勿損壞金屬噴口)。泵上方的水冷擋板也應(yīng)洗凈。
  (4)裝入干凈的擴散泵油。注意油量一定要合適(根據(jù)說明書),太多或太少都會影咆抽氣速率。
  (5)重新把擴散泵裝配起來。
  換爐絲
  擴散泵長期使用,其加熱器(電爐絲)變細(xì),阻值增大,抽氣速率也會下降,這時妊須換上功率相等的合適的爐絲。
  維持一定的電源電壓值
  若擴散泵加熱器電源電壓下降,也會降低排氣效率,應(yīng)設(shè)法保證一定的電源電壓值。
 

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