擴散泵、冷阱、閘板閥和機械真空泵是真空系統(tǒng)的主要零件。對設(shè)計合理的系統(tǒng)來說，清潔的真空室在不烘烤的情況下，一般可達到2×10^-4～5×10^-4Pa的壓力。真空系統(tǒng)中主要的氣體負載是水蒸氣。真空室內(nèi)各零部件，在烘烤初時放出的氣體中的絕大部分是水蒸氣。為了快速抽除這些水蒸氣，在真空泵的上方．或者在真空室內(nèi)設(shè)置一個液氮冷阱，就能達到這一目的。而所配的液氮冷阱對水蒸氣抽速可高達4000L/s。顯然，液氮冷阱的設(shè)置，也可大大降低油蒸氣的返流率。在對油蒸氣返流率要求不高的場合下，降低返油率的最簡單的辦法是采用高質(zhì)量的泵液，或者在擴散泵的進口處設(shè)置一個水冷障板就行了。

　　在這系統(tǒng)中，僅用一臺機械泵。它既用于粗抽真空室，又用作擴散泵的前級泵。因此，在系統(tǒng)上分別設(shè)置了前級管道閥和粗抽閥。當(dāng)機械泵用作粗抽時，應(yīng)將前級管道閥關(guān)閉，如果粗抽時間在15min以內(nèi)，而前級管道內(nèi)的壓力升高又不明顯的話，這種布置是允許的。

　　裝在粗拙管道上的熱傳導(dǎo)規(guī)，是用來檢查機械泵的空載壓力的。第一個電離真空規(guī)是接于真空室的，以正確反映翅空竄內(nèi)的壓力；第二一個電離兵空規(guī)安放在冷阱和閘板閥之間，用于監(jiān)測擴敞象的空載壓力，也用來識別擴澈泵工作性能的好壞。

　　設(shè)置檢漏儀接口，利用這個接口可以在系統(tǒng)工作時，把檢漏儀接在系統(tǒng)上，為對真空室、阱和擴散泵等的檢漏捉洪最高的靈敏度，和最快的響應(yīng)時間。粗抽管道上裝了捕集阱后，粗抽管道就不會被機械泵液所沾污了。機械泵的放氣閥應(yīng)設(shè)在捕集阱的上方，以便在機械泵每次放氣時，可把蒸氣從真空事處排走。放氣沖洗閥，分別用于對液氮阱和真空室的沖洗。

　　這系統(tǒng)操作時應(yīng)注意幾點：

　?、贋榱朔乐箼C械泵油的返流，工作室的粗抽，只能抽至壓力勾1 5Pa時為止。到此壓力后應(yīng)關(guān)閉糧抽閥，并經(jīng)一段延時后，打開高真空閥。

　?、谙到y(tǒng)的停機開始于關(guān)閉高真空閥，井使液氮冷阱升溫，讓擴散泵拙走由液氮冷阱所放出的氣體和蒸氣。如果讓冷阱自然地與周圍環(huán)境達到平衡，則視冷阱的結(jié)構(gòu)不同，需要4～20h。用于燥氮氣吹液氮貯罐，可使這一時間大大縮短。當(dāng)冷阱溫度達到0℃時，就可切斷擴散泵電源。在擴散泵冷卻到50 ℃時，關(guān)閉前級管道閥門，這時就可關(guān)掉機械泵并放氣。切不可在前級管道閥門尚未關(guān)閉時，就對機械泵放氣。因為這將使大量機械泵油蒸氣帶入擴散泵。最后，應(yīng)把擴散泵的冷卻水關(guān)掉；③啟動系統(tǒng)時，首先要將冷卻水通入擴散泵外套，然后接通機械泵電源，在把粗抽管道里的氣體抽至某一壓力，如100Pa之后．就可打開前級管道閥門，并對擴散泵加熱器通電加熱。待擴散泵正常工作后，對液氮冷阱注入液氮，也可在擴散泵尚未正常工作之前灌以液氮，并關(guān)閉前級管道閥，使機械泵對真空室進行粗抽至l 5～20Pa后，即關(guān)閉粗抽閥，稍經(jīng)延時后，先接通前級管道閥，最后就可打開高真空閥了。

　　④即使對一個設(shè)有液氮冷阱的真空系統(tǒng)，在經(jīng)常啟動和關(guān)閉系統(tǒng)后，會有少量的油蒸氣沾污在冷阱的上方，甚至高真空室內(nèi)。為此可采用這樣的沖洗辦法：切斷真空系統(tǒng)中擴散泵電源，使液氮冷阱升溫，用一定量的干燥氮氣流注入真空室，這干燥氮氣流決定于前級機械泵的大小，以使前級管道內(nèi)壓力保持在25Pa左右為宜。這25Pa壓力的氮氣流會使早先吸附在冷阱上方及真空室內(nèi)壁上的油蒸氣脫附出來，又不至于使機械泵油返流到前級管道中去。當(dāng)需要再次使用系統(tǒng)時，關(guān)掉沖洗氣體，啟動擴散泵、冷卻冷阱即可。如用這種簡單技術(shù)來啟動和停掉真空系統(tǒng)，可節(jié)約大量電能、液氮和冷卻水。