冷凝泵的結構原理和故障分析
發(fā)布時間：2015年09月10日 09:59 閱讀：8594
返回 來源：
澤德
隨著真空技術的發(fā)展，
冷凝泵在真空方面的應用越來越廣泛，由于它在使用過程中比較潔凈，性能穩(wěn)定，在半導體、太陽能制造等方面具有明顯優(yōu)勢，因此在這些領域里大都采用冷凝泵作為真空發(fā)牛裝置。
冷凝泵又叫低溫泵或冷泵。作為一個獨立的結構單元，采用外部冷卻循環(huán)水實現熱交換。冷泵驅動組件包括馬達、傳動機構、冷頭、活塞環(huán)等零件。冷凝泵在壓縮機的作用下產生一級制冷區(qū)和二級制冷區(qū)兩個溫度制冷區(qū)。
冷泵在使用過程中隨著時間的增加，如冷頭發(fā)出”咔嚓、咔嚓”的異常聲音；冷泵溫度達不到正常的工作溫度；冷泵抽真空速度慢等各種常見的問題就相繼出現。
1.冷頭發(fā)出異常聲音。冷泵使用一段時間后這種情況會出現，主要原因是冷頭部分受到污染。正常情況下冷頭部位是清潔且無雜質，運行過程中聲音節(jié)奏感強，人體感覺比較舒適。而出現“咔嚓”異常聲音的說明冷頭里面含有水氣、空氣等，在較低溫度下結冰產生摩擦所致。當這種問題出現時，首先查看冷泵工作情況。如果冷泵是再生后運行了很長的時間，一般來說通過對冷泵進行再生可眥消除這種故障，否則需要對冷頭進行維護。
2.冷泵達不到正常溫度。泵正常工作時的溫度為10K，如果達不到這個數值，則說明冷泵、壓縮機存在問題，根據我們日常經驗，可能出現問題的地方有：
(1)壓縮機的He壓力減少。壓縮機經過長期運轉后，由于各接頭之間的松動，導致部分氯氣泄漏．同時由于在對冷泵、壓縮機進行維護時拆卸管道導致的氯氣損失，均會產生壓力下降。我們可以查看壓縮機氦氣壓力表，如果壓力表的指針在上面兩個數值范圍內波動則認為正常，否則需要補充氦氣。為了避免氦氣的泄漏對壓縮機制冷能力的影響，應避免對He管路進行頻繁拆裝和He壓力的檢查。
(2)壓縮機冷卻水的溫度和流量。冷卻水的溫度較高，流量較小，則不能對壓縮機產生的熱量有效帶走?？梢酝ㄟ^壓縮機冷卻水流量計查看冷卻水的流量，前級監(jiān)控查看冷卻水的溫度，冷卻水的溫度般在15℃，高于此值時別需要動力提供支持。從我們工作情況來看壓縮機冷水管的墻塞是導致冷泵溫度達不到10K的主要原因之一。
(3)吸附桶狀態(tài)。從壓縮機出來的He均要經過吸附桶進行過濾。來阻止He中雜質及污染物進入冷泵驅動件中，使用時間長了He就會產生堵塞。輕微堵塞時，冷泵溫度可以壓到20K左右，重度堵塞時冷泵溫度只能壓到100K左右，嚴重者將導致壓縮機開不起來，一般來說它的使用壽命2-3年，因此要制定周期的維護計劃，消除因吸附桶而引起冷泵狀態(tài)差。
(4)密封元件的狀態(tài)。冷泵的制冷是靠He膨脹吸熱來實現，因此各個密封件的狀態(tài)就顯得尤為重要。密封元件長時間運行后效果變差，因此需要定期進行維護和更換以便保證冷泵狀態(tài)。
3.冷泵抽真空速度慢。冷泵工作狀態(tài)主要參數有：工作溫度、極限真空、冷泵抽速等。根據日常經驗產生此問題的原因可能為壓縮機、冷泵或者動力供給。動力供給是最容易確認的，只要動力提供的冷卻循環(huán)水溫度、流量滿。足要求動力方面就沒有問題。關于壓縮機的維護，實際上我們能夠維護的也就是吸附桶更換和He的補充及提純，只要這兩樣做好了壓縮機的問題基本上是正常的。
返回頂部 | 返回列表
關注澤德微信
關注澤德微博